一、产品介绍

工业 X 射线辐照仪（TIDeX）是一款专为半导体晶圆检测与元器件抗辐射可靠性验证设计的一体化 X 射线辐照及总电离剂量（TID）测试平台。

系统将 X 射线辐照、高精度快门控制、精密探针测试、实时剂量监测四大核心功能高度集成，可在芯片、晶圆及各类电子元器件集成到最终产品前，精准控制辐射暴露条件、精确计量辐照剂量，高效完成器件抗辐射性能评估与验证，确保关键电子元件在太空、核设施、汽车电子、医疗器械、国防军工等高严苛环境下长期稳定、安全可靠运行。

设备兼具高精度、高稳定性与高安全性，广泛适用于半导体研发、航天航空、汽车电子、医疗设备、核能应用及高校科研等领域，是行业内进行总电离剂量效应测试与可靠性验证的专业解决方案。

二、产品优势

1. 一体化集成设计，无需多设备联用，避免设备衔接带来的误差，操作便捷且测试流程更高效，适配各类科研与生产场景。

2. 剂量控制精准，可稳定输出测试数据，满足航空航天、汽车电子等领域高可靠认证需求，保障测试结果合规可用。

3. 兼容300mm晶圆直接测试，无需切割样品，适配研发到量产全流程，降低样品损耗与额外成本。

4. 无放射性同位素，规避放射源监管风险，安全合规，运维便捷且成本更可控。

三、产品参数

• 最大可适配晶圆尺寸：300mm（12 英寸）

• X 射线能量可调节范围：10 – 160 kV

• 显微观测系统：10× 可调物镜（可选 5×）

• 剂量率：＞ 200 krad/min (60 kV时)

• 准直器：支持定制尺寸与形状

• 安全标准：符合美国 FDA 21CFR1020.40 辐射安全法规

• 控制系统：智能化操作，灵活设置，可预设运行程序，支持远程控制与 API 接口

• 定位方式：真空吸附卡盘，X/Y/Z 轴高精度微调

四、应用方向

1. 航空航天与太空领域：卫星、航天器电子器件 TID 测试、抗辐射可靠性验证

2. 半导体与集成电路：芯片、FPGA、存储器、功率器件辐照效应评估与筛选

3. 汽车电子：ADAS 自动驾驶、车规芯片、高可靠车载电子辐射耐受测试

4. 医疗器械：放疗设备、医学影像系统控制电路安全可靠性验证

5. 国防与核能：极端辐射环境下电子系统、控制模块耐受性测试

6. 高校及科研院所：新型半导体材料、宽禁带器件辐射效应机理研究

7. CRO 与第三方检测：元器件可靠性认证、总电离剂量标准化测试